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개요

Honeywell Zephyr™ HAF 시리즈 센서는 지정된 풀 스케일 유량 및 보정된 온도 범위에서 유량을 판독하기 위한 디지털 인터페이스를 제공합니다. 열 절연 히터와 온도 감지 소자는 공기나 가스 유량에 빠르게 반응하는 데 도움을 줍니다.

Zephyr™ 센서는 공기 및 기타 비부식성 가스의 질량 유량의 측정용으로 설계됐습니다. 표준 유량 범위는 10SLPM, 15SLPM, 20SLPM, 50SLPM, 100SLPM, 200SLPM 또는 300SLPM이고, 맞춤 유량 범위로도 이용 가능합니다. 이 센서는 탑재식 주문형 반도체(ASIC)를 사용하여 완전히 교정 가능하며 온도 보정도 할 수 있습니다.

HAF 시리즈 >10SLPM은 0°C~50°C[32°F~122°F]의 온도 범위에서 보정됩니다. 최신 ASIC 기반 보정으로 디지털(I2C) 출력 및 1ms의 반응 시간을 제공합니다.

이 센서는 열전도 원리로 작동하여 질량 공기유량을 측정합니다. 마이크로브리지 마이크로전기 및 마이크로전기기계식 시스템(MEMS)과 플래티넘과 실리콘 니트릴 박막에 용착된 온도 감지 저항기로 구성되어 있습니다. MEMS 감지 다이(die)는 정밀하고 신중하게 설계된 공기유량 채널에 위치하여 유량에 반복적으로 반응합니다.

Zephyr™ 센서는 고객에게 향상된 신뢰도, 고정확도, 반복 측정 가능성 및 센서 옵션의 맞춤화 가능성을 제공하여 다양한 특정 분야의 요구사항을 충족합니다. 견고한 하우징과 안정적 기판의 조합으로 이 제품은 아주 견고하게 제작됐습니다. ISO 9001 표준에 따라 설계, 제조됐습니다.

Honeywell Zephyr™ HAF - 높은 정확도 10 SLPM~300 SLPM


문서

제목 문서 유형 언어 크기
Honeywell Zephyr™ 디지털 공기유량 센서: HAF 시리즈-고정확도, 10SLPM~300SLPM 데이터시트 영어 705KB
Honeywell Zephyr™ 디지털 공기유량 센서: HAF 시리즈-고정확도, 10SLPM~300SLPM 응용 분야 노트 영어 279KB
Honeywell Zephyr™ 공기유량 센서, HAF 시리즈 - 고정확도 10SLPM~300SLPM 제품 부품 목록/형명 체계 영어 315KB
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Honeywell Zephyr™ 공기유량 센서, HAF 시리즈-고정확도, ±50SCCM~±750SCCM 제품 부품 목록/형명 체계 영어 81KB
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Pressure or Airflow Sensors? 기술 정보 영어 546KB
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