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Descripción general

Operación

El funcionamiento del sensor de flujo de masa por micropuente se basa en la teoría de transferencia de calor. El flujo de masa se envía sobre la superficie de los elementos de detección. La salida de voltaje varía en proporción al flujo de masa o de otro gas que pasa por los puertos de entrada y salida del encapsulado. La carcasa diseñada especialmente envía y controla con precisión el flujo de aire que pasa por el elemento de detección de la microestructura. El diseño mecánico del encapsulado permite que se lo monte fácilmente en las placas de circuito impreso.

El sensor de flujo de masa por micropuente cuenta con un chip de silicio inigualable con tecnología de microestructura de avanzada. Contiene una estructura con puente térmicamente aislado y una película fina, en el cual se encuentran los elementos de detección de temperatura y calor. La estructura con puente ofrece una respuesta rápida y sensible ante el flujo de aire o de otro gas que pase sobre el chip. Los elementos de detección duales ubicados a ambos lados del elemento de calentamiento central indican la dirección y el índice del flujo. Las resistencias de película fina y gruesa ajustadas con láser permiten intercambiar un dispositivo con otro.

El sensor de flujo de masa por micropuente emplea resistencias sensibles a la temperatura depositadas dentro de una película fina de nitruro de silicio. Están suspendidas en forma de dos puentes sobre una cavidad grabada en el silicio. El chip se encuentra en un canal de flujo de aire de dimensiones exactas para ofrecer una respuesta repetible ante el flujo. El aislamiento térmico altamente efectivo para las resistencias de detección y del calentador se logra mediante el grabado del espacio de la cavidad debajo de los puentes del sensor de flujo. El tamaño pequeño y el aislamiento térmico del sensor de flujo de masa por micropuente son los responsables de generar la respuesta extremadamente rápida y la alta sensibilidad a los flujos.

Los puentes duales Wheatstone controlan la medición del flujo de aire. Uno controla el calentador de lazo cerrado y el otro contiene los elementos de detección duales. El circuito del calentador reduce al mínimo los cambios causados por las variaciones en la temperatura ambiente mediante la generación de una salida proporcional al flujo de masa. El circuito conserva la temperatura del calentador en un nivel diferencial constante (160 °C) por sobre la temperatura del aire del ambiente que se detecta a través de una resistencia disipadora en el chip. La salida de voltaje proporcional del dispositivo se corresponde con el voltaje diferencial del circuito del puente Wheatstone.

AVISO

Es posible reducir al mínimo los efectos de la contaminación por polvo que pueden generar algunas aplicaciones. Se diseñó el dispositivo de manera tal que las partículas de polvo que puedan estar presentes en el flujo de aire atraviesen el chip de forma paralela con respecto a la superficie del chip. Además, el chip de microestructura produce un efecto termoforético que repele y aleja de la estructura del puente a las partículas de polvo micrométricas.

Mediante un filtro de características sencillas, se impedirá que el polvo se adhiera a los bordes del chip y las superficies de los canales. Para realizar una filtración adecuada en la mayoría de las aplicaciones, se puede utilizar un filtro de cinco micrones desechable en serie en el lateral ascendente del dispositivo de flujo de aire.

PRECAUCIÓN: DAÑO DEL PRODUCTO

Los sensores de flujo de masa por micropuente de la serie AWM no están diseñados para detectar flujo de líquidos, el cual podría dañar al sensor.
El producto se puede dañar si no se siguen estas instrucciones.

 Sensores de flujo de aire amplificados - Honeywell


Documentos

TÍTULO TIPO DE DOCUMENTO IDIOMA TAMAÑO
Sensores de flujo de aire Serie AWM40000, no amplificados y amplificados Información del catálogo Inglés 245KB
Presentación de sensores de flujo de aire Serie AWM Información del catálogo Inglés 186KB
Sensores de flujo de masa de gas por micropuente Serie AWM40000 Instrucciones de instalación Inglés 192KB
Guía de la línea de sensores de flujo de aire Guía de línea de productos Inglés 132KB
Guía de familias de sensores de flujo de aire, de fuerza y de presión Guía de familias de productos Inglés 9MB
Sensores e interruptores para aplicaciones médicas Guía de familias de productos Inglés 3MB
Sensores e interruptores para aplicaciones médicas Nota sobre aplicaciones Inglés 374KB
Compatibilidad de medios de gas y factores de corrección Información técnica Inglés 96KB
Glosario de términos de sensores de flujo de aire Información técnica Inglés 154KB
Sensores de flujo de masa de aire que miden la altitud de presiones con diferencial bajo y la corrección de la densidad del gas Información técnica Inglés 85KB
Sensores de flujo de masa: Flujo de masa comparado con flujo volumétrico y conversiones de unidad de tasa de flujo Información técnica Inglés 190KB
Contaminación con partículas de los sensores de flujo de masa de aire y fabricantes de filtros Información técnica Inglés 99KB
¿Sensores de flujo de aire o de presión? Información técnica Inglés 546KB
Tendencias de diseño en el sector energético y ambiental Información técnica Inglés 812KB

Explorar productos de la Serie AWM40000

Producto Acondicionador de señal Temperatura compensada Rango de presión/flujo Compatibilidad de medios
AWM43300V Amplificado 1000 sccm (1 SLPM) Gas seco únicamente
AWM43600V Amplificado 6 SLPM Gas seco únicamente

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